深圳市方達(dá)研磨技術(shù)有限公司 www.szfangda.com.cn www.szfangda.cn http://www.szfangda.cn/Product.asp技術(shù)咨詢：胡先生 13823704042 0755-26548119我公司供應(yīng)高精密雙面研磨機(jī)主要用途：該機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、拋光。工作原理：1．本系列研磨機(jī)為超高精密研磨設(shè)備，上、下研磨盤作相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動(dòng)。磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高。2．本系列研磨機(jī)修整機(jī)構(gòu)采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動(dòng)，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進(jìn)行平面修整。特點(diǎn)1．本系列研磨機(jī)的上、下研磨盤可進(jìn)行自動(dòng)修盤。2．采用四個(gè)電機(jī)同步拖動(dòng)，變速范圍更廣，運(yùn)動(dòng)精度更高，響應(yīng)速度更快，能適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)、軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。3．修面機(jī)采用伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，能確保油壓懸浮導(dǎo)軌滑動(dòng)更加平穩(wěn)，得到的平面修整效果非好。4．控制系統(tǒng)中采用DSP、Web-Link、彩色終端等先進(jìn)技術(shù)，系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確，并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控，遠(yuǎn)程維護(hù)功能；5．本系列研磨機(jī)有光柵厚度控制系統(tǒng)，加工后的產(chǎn)品厚度公差可控制在 0.002mm范圍內(nèi)。技術(shù)參數(shù)： 型號(hào) 研磨盤規(guī)格： 最大加工工件尺寸 SX-4B 200 100 12t 60mm SX-5B 300 120 12t 100mm SX-6B 380 140 12t 130mm SX--7BG 510 200 12t 165mm SX--9B 635 240 12t 200mm工件平面度（25mm） 工件平行度（25mm）工件粗糙度（石英材料） 0.1u以內(nèi) 0.2u以內(nèi) 0.4nm以內(nèi) 0.1u以內(nèi) 0.2u以內(nèi) 0.4nm以內(nèi) 0.1u以內(nèi) 0.2u以內(nèi) 0.4nm以內(nèi) 0.1u以內(nèi) 0.2u以內(nèi) 0.4nm以內(nèi) 0.2u以內(nèi) 0.4u以內(nèi) 0.4nm以內(nèi)研磨盤修面后平行度 游輪規(guī)格 游輪數(shù)量 1u以內(nèi) 80mm 5枚 1u以內(nèi) 125mm 5枚 1u以內(nèi) 155mm 5枚 2u以內(nèi) 190mm 5枚 2u以內(nèi) 230mm 5枚 下研磨盤轉(zhuǎn)速 下研磨盤電機(jī)功率 上研磨盤研磨轉(zhuǎn)速 0~180rpm 0.4kw3相380V 0~60rpm 0~180rpm 0.4kw3相380V 0~60rpm 0~180rpm 0.75kw3相380V 0~60rpm 0~140rpm 1.5kw3相380V 0~60rpm 0~140rpm 2.2kw3相380V 0~60rpm上研磨盤電機(jī)功率 上研磨盤修面轉(zhuǎn)速 太陽(yáng)輪轉(zhuǎn)速 0.2kw3相380V 0~180rpm 0~60rpm 0.2kw3相380V 0~180rpm 0~60rpm 0.4kw3相380V 0~180rpm 0~60rpm 0.75kw3相380V 0~180rpm 0~60rpm 1.5kw3相380V 0~180rpm 0~60rpm上研磨盤修面電機(jī)功率 太陽(yáng)輪電機(jī)功率 修面機(jī)速度 0.2kw3相380V 0.2kw3相380V 200mm/分鐘 0.2kw3相380V 0.2kw3相380V 200mm/分鐘 0.4kw3相380V 0.4kw3相380V 200mm/分鐘 0.4kw3相380V 0.4kw3相380V 200mm/分鐘 0.75kw3相380V 0.75kw3相380V 200mm/分鐘外齒輪轉(zhuǎn)速 外齒輪電機(jī)功率 修面機(jī)伺服馬達(dá)功率 0~30rpm 0.2kw3相380V 750w 0~30rpm 0.2kw3相380V 750w 0~30rpm 0.4kw3相380V 750w 0~30rpm 0.4kw3相380V 750w 0~30rpm 0.75kw3相380V 750w 外形尺寸： 重量： 680 1000 2100mm 760kg 740 1100 2200mm 850kg 800 1200 2300mm 1100kg 1000 1450 2400mm 1600kg 1200 16150 2400mm 2300kg