18B研磨拋光機主要適用6英寸（含）以下硅片雙面精密研磨加工，同時適用于光學(xué)玻璃，石英晶片，寶石片，鈮酸鋰，陶瓷片及其他硬脆材料的雙面研磨加工或拋光。主要特點： 1.進口變頻器配合變頻電機拖動，實現(xiàn)了軟啟動，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。 2.采用二電機同步拖動，可選擇游星輪的變速范圍更廣，能適用不同的研磨材料及研磨工藝的要求。 3.單獨電機抬升內(nèi)齒圈，并在總行范圍內(nèi)隨意停留，滿足了取放工件及調(diào)整游星輪嚙合位置的要求。通過調(diào)節(jié)太陽輪座上的三組不同的厚度的不銹鋼片改變太陽輪高度，調(diào)整方法簡便。 4.采用國內(nèi)先進的防腐技術(shù)對齒圈座的下磨盤座進行處理，大大提高了其耐蝕性，繼而也提高并能長期保證底座安裝精度。 5.電氣系統(tǒng)采用可靠性高的PLC實現(xiàn)。氣動系統(tǒng)全部選用高品質(zhì)的知名品牌元件，主氣缸為精密低摩擦力氣缸，壓力調(diào)整采用高動態(tài)特性的進口電氣比例閥元件。 6.壓力調(diào)整采用電氣比例閥與拉力傳感器實現(xiàn)了閉環(huán)反饋控制，其靜態(tài)調(diào)整精度＜2Kg,動態(tài)壓力波動＜30Kg?？商岣吖ぜ绕涫潜⌒喂ぜ募庸し€(wěn)定性，進而確保提高元件加工精度及合格率。 7.人機界面（HMI）顯示與PLC主控制器結(jié)合，一方面顯示運行參數(shù)，另一方面通過其他觸摸鍵調(diào)整設(shè)定各項參數(shù)，主操作由普通鍵鈕完成。 8.采用自動潤滑裝置，用戶可根據(jù)自己的使用情況，設(shè)定自動潤滑時間，使機器的各相對運動表面，齒輪嚙合部位得到充分潤滑，大大提高了整機的使用壽命。 9.研磨機配置了高精度的測厚裝置，工件加工的動態(tài)情況通過HMI隨時可見。 10.可根據(jù)用戶的加工工藝要求，選裝拋光液溫度調(diào)節(jié)裝置（單制或雙制均可）。主要技術(shù)參數(shù)磨盤轉(zhuǎn)速：0~60rpm游行輪參數(shù)：公制M=3，Z=154，a=20 游行輪數(shù)量：5個最小研磨厚度：5/ 200mm,0.4/ 150mm最大可控研磨厚度：20mm（可根據(jù)要求特殊定制）最大研磨直徑： 400mm主電機：15KW4級三相AC380V太陽輪電機：1.5KW4級三相AC380V內(nèi)齒圈電機：1.5KW4級三相AC380V氣源：0.5~0.7Mpa外型尺寸：2500 1650 3000mm機器重量：~7000kg砂泵電機（帶攪拌）：4KWAC380V主機精度下研磨盤端面跳動：0.08mm淹沒面平面度：0.02mm太陽輪徑向跳動：0.20mm內(nèi)齒圈徑向跳動：0.25mm加工精度（四個修正輪修研后）一致性：0.008mm平面度：0.005m平行度：0.006mm加工能力單片承片量： 1704片， 2002片整盤承片量： 17020片， 20010片