產(chǎn)品用途：本機(jī)主要用于鈮酸鋰片、硅片、鍺片、砷化鎵、磷化鎵、玻璃、陶瓷等片狀材料的單面拋光。主要特點(diǎn)：1． 設(shè)備有三個(gè)拋光頭，每個(gè)拋光頭與粘片盤以三個(gè)錐銷軸方式定位，開啟主機(jī)對(duì)工件單面拋光時(shí)，粘片盤隨主盤不斷轉(zhuǎn)動(dòng)，達(dá)到單面拋光的目的。2． 設(shè)備三個(gè)拋光頭均能單獨(dú)完成上升、下降，拔出定位鍵可繞各自固定立柱回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)離工作位置，便于取、放粘片盤。該機(jī)可進(jìn)行單頭拋光、雙頭拋光和三頭拋光多種工作狀態(tài)。3． 拋光頭在其固定臂的徑向位置可以隨意調(diào)節(jié)，使拋光頭中心與下拋光盤中心的距離各不相同，以保證下拋光盤修整軌跡更合理，提高了拋光布?jí)勖靶奁骄取?． 電器系統(tǒng)采用PLC控制，安裝有遠(yuǎn)紅外線測(cè)溫儀，對(duì)下拋光盤進(jìn)行溫度監(jiān)控，提高了整幾可靠性、安全性。操縱面板上安裝有主機(jī)、液泵開停按鈕、主機(jī)調(diào)速按鈕、拋光頭升、降、緩降按鈕，以方便操作。拋光時(shí)間設(shè)定了時(shí)間繼電器和壓力調(diào)節(jié)顯示表等操縱件，其均位于顯示面板上，完成相應(yīng)操作功能。5． 三個(gè)拋光頭分別用相同粘片盤單面拋光，可與61830-1型單面減薄機(jī)配套使用。6． 調(diào)速方式采用變頻調(diào)速，調(diào)速平穩(wěn)，低速性能好。主要技術(shù)參數(shù)：1. 拋光盤直徑（外徑）： 830mm2. 粘片盤直徑（外徑 厚度）： 350mm 20mm3. 拋光盤端面跳動(dòng)量： 0.06mm4. 拋光盤平面度： 0.025mm5. 主電機(jī)： 7.5kW380V 1450rpm 6. 最小拋光厚度： 0.20mm7. 最大拋光件規(guī)格： 200mm8. 拋光件表面平面度： 0.001mm（ 75mm）9. 加工件厚度一致性： 0.004mm（ 75mm）10. 單頭承片量： 8片/3 6片/4 4片/5 整盤承片量： 32片/3 24片/4 16片/5 11. 外形尺寸（長(zhǎng) 寬 高）： 1900mm 1500mm 1600mm12. 質(zhì)量： 約1600kg