無塵室（Cleanroom，無塵室或潔凈室）是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用最大顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物)，更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。 無塵室的定義為將空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即這個環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少，稱之為潔凈室。凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，凈室可以占據(jù)廠房很多位置 無塵室系統(tǒng)，制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，無塵室內(nèi)的制造區(qū)（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDEAIR），經(jīng)過凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到符合規(guī)格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱（Make-upAirUnit或MAU）初步過濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道（Mech.Chase），將凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，透過循環(huán)風(fēng)扇（FanFilterUnit或FFU）帶動凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，最后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至無塵室區(qū)。