一、原理結(jié)構(gòu)圖1是用于敏感旋轉(zhuǎn)載體橫滾(或俯仰)角速率的硅微
機(jī)械陀螺結(jié)構(gòu)圖,1為單晶硅質(zhì)量,2為單晶硅彈性扭轉(zhuǎn)支撐梁,3為玻璃電極極板,4為玻璃電極極板上蒸鍍的金屬電極。玻璃極板和質(zhì)量之間的間隙為20 m,玻璃板的四個電極和質(zhì)量之間形成四個電容器。坐標(biāo)系OXYZ固定于陀螺的質(zhì)量上,?為質(zhì)量沿OY軸的擺動角速度, 為載體的旋轉(zhuǎn)角速度, 為載體的橫滾(或俯仰)角速度(即被測角速度)。陀螺固定于旋轉(zhuǎn)載體上,當(dāng)旋轉(zhuǎn)載體以 角速度旋轉(zhuǎn)的同時又有橫滾(或俯仰)角速度 輸入時,單晶硅質(zhì)量就受到周期性變化的哥氏力(哥氏力變化頻率為載體旋轉(zhuǎn)頻率)作用,使質(zhì)量產(chǎn)生沿OY軸擺動,從而引起由單晶硅質(zhì)量和玻璃電極構(gòu)成的四個電容器C1、C2、C3、C4的變化,把電容變化信號轉(zhuǎn)換成電壓變化信號之后經(jīng)放大,便得到和被測角速率 成比例的電壓信號。二、技術(shù)指標(biāo)滾動角速度1~25r/s零位偏置 0.5 /s俯仰和偏航角速度300 /s零位漂移 0.03 /s/h分辨率 0.1 /s供電電源 15VDC, 18mA比例系數(shù)30mV/ /s工作溫度-40℃~+55℃非線性度 1%FS儲存溫度-55℃~+70℃輸出方式正弦波調(diào)幅信號沖擊正諧振動半周期150g,6ms振動任意方向隨意振動:10g(f=20~2000Hz)加速度任意方向的線加速度:40g;沿自旋軸的線加速度:75g;重量8克(敏感元件)15克(包括電路)外形尺寸20*20*5mm3(敏感元件)35*35*10mm3(包括電路)三、用途本陀螺用于敏感旋轉(zhuǎn)體的橫滾(或俯仰)角速率,例如,飛行體的橫滾或俯仰角速率,鉆井鉆頭垂直度和穩(wěn)定度的控制等,它具有廉價、體積小、重量輕、功耗低、產(chǎn)品一致性好,性能穩(wěn)定等特點(diǎn)。CRS-A01微機(jī)械陀螺量程 200 /s(可選)比例系數(shù)(15mV 5mV)/ /sec比例系數(shù)溫度特性<0.05%/℃零位電壓范圍0 100mV零位變化(全溫度)7 /sec加速度影響<0.05/sec/g起動時間<3sec(Typical)頻響>50Hz線性度<0.05%供電電壓 15V供電電流 20mA工作環(huán)境:工作溫度-40℃~+80℃儲存溫度-55℃~+100℃振動6g,20~2000Hz,三分鐘沖擊500g,半正弦重量100gCRS-T01型微機(jī)械陀螺慣性組合1.三軸角速度陀螺1.1測量范圍 150 /s1.2線性度(F.S)0.1%1.3交叉耦合0.1%1.4分辨率0~ 5 /s 0.002 /s 5 /s~ 150 /s 0.02 /s1.5零位漂移 0.01 /s/h(1 )1.6零位逐次啟動重復(fù)性 0.01 /s(1 )1.7帶寬 50HZ2.三軸線加速度計2.1測量范圍 30g2.2線性度(F.S)5 10―42.3交叉耦合5 10―42.4零位綜合誤差 3 10―4g2.5帶寬 100HZ3.環(huán)境適應(yīng)性3.1工作溫度-40℃~+60℃3.2儲存溫度-55℃~70℃3.3振動20~2000HZ6g,1分鐘,軸向。3.4沖擊100g,持續(xù)時間:5~8ms,三方向。4.工作電源28 3V電流: 0.5A加熱電源28 3V電流: 3A5.外形尺寸 120mm 150mm6.重量3.5kg