加速度傳感器設(shè)計(jì)生產(chǎn)制造工藝應(yīng)用技術(shù)專利大全01、微機(jī)械角加速度傳感器 02、基于菲涅爾衍射微透鏡的光學(xué)加速度傳感器 03、加速度傳感器 04、使用加速度傳感器測(cè)量體育運(yùn)動(dòng)量的設(shè)備和方法 05、加速度傳感器 06、加速度傳感器 07、一種加速度傳感器 08、半導(dǎo)體加速度傳感器件及其生產(chǎn)方法 09、加速度傳感器單元 10、加速度傳感器 11、一種用加速度傳感器判斷列車是否丟車的方法及裝置 12、加速度傳感器和加速度傳感器的制造方法 13、平面光波導(dǎo)的微重力加速度傳感器及測(cè)量方法 14、半導(dǎo)體加速度傳感器及其制備方法 15、加速度傳感器 16、加速度傳感器裝置 17、加速度傳感器 18、一種用數(shù)字信號(hào)為接口的無線加速度傳感器 19、加速度傳感器以及傾斜檢測(cè)方法 20、電容性加速度傳感器 21、加速度傳感器 22、加速度傳感器 23、力反饋式真空微電子加速度傳感器 24、真空微電子加速度傳感器 25、多維加速度傳感器 26、微重力加速度級(jí)電容式加速度傳感器 27、加速度傳感器 28、加速度傳感器及其制造方法和包含該傳感器的檢測(cè)裝置 29、靜電電容型加速度傳感器及其制造方法 30、采用摻雜半導(dǎo)體層作為布線的半導(dǎo)體加速度傳感器 31、加速度傳感器 32、加速度傳感器 33、加速度傳感器及其制造方法 34、全光型硅微諧振式二維加速度傳感器 35、加速度傳感器 36、MEMS壓阻式伺服加速度傳感器及其制備方法 37、加速度傳感器38、半導(dǎo)體器件的制造方法以及加速度傳感器 39、單片集成的直拉直壓微梁結(jié)構(gòu)壓阻加速度傳感器及制作方法 40、加速度傳感器以及計(jì)步器 41、環(huán)振式數(shù)字加速度傳感器 42、加速度傳感器 43、一種高固有頻率的量程可達(dá)200萬m/s的微機(jī)械加速度傳感器 44、落下沖擊測(cè)量系統(tǒng)及用于該系統(tǒng)的加速度傳感器用元件 45、一種雙E型圓膜片十字梁結(jié)構(gòu)的六軸加速度傳感器 46、濕法腐蝕制造微機(jī)械電容式加速度傳感器的方法 47、微型硅橋式熱對(duì)流加速度傳感器 48、濕法腐蝕制造的微機(jī)械電容式加速度傳感器 49、深溝側(cè)壁擴(kuò)散和電絕緣薄膜填充制造壓阻加速度傳感器及其制造方法 50、光纖耦合裝置、波長(zhǎng)可變器、壓力傳感器、加速度傳感器以及光學(xué)裝置 51、曲面貼合過載保護(hù)的硅微加速度傳感器及制造方法 52、加速度傳感器和加速度檢測(cè)裝置及定位裝置 53、加速度傳感器及其制造方法 54、集成硅微電阻式加速度傳感器及其制造加工方法 55、加速度傳感器 56、加速度傳感器及使用該加速度傳感器的加速度裝置 57、壓電型加速度傳感器及其制造方法和加速度檢測(cè)方法 58、加速度傳感器與三軸加速度傳感器 59、雙電極單晶硅電容加速度傳感器及其制造方法 60、加速度傳感器 61、半導(dǎo)體集成電容性加速度傳感器及其制造方法 62、半導(dǎo)體加速度傳感器的制造方法 63、半導(dǎo)體加速度傳感器 64、可提供高精度探測(cè)水平具有加速度傳感器的傳感器裝置 65、加速度傳感器及其制造方法 66、單體加速度傳感器 67、半導(dǎo)體加速度傳感器 68、加速度傳感器 69、一種坡度角和加速度傳感器 70、氣體線加速度傳感器 71、一種加速度傳感器 72、一種硅梁壓阻加速度傳感器及其制造方法