書名:薄膜材料制備原理、技術(shù)及應(yīng)用作者:唐偉忠著出版社:冶金工業(yè)出版社出版日期:2007年07月ISBN:7502430970頁數(shù):323開本:大32開市場價(jià)格:￥28元會員價(jià)格:￥23.8元VIP價(jià)格:￥23.2元贈送積分:28分版次: 2版5次瀏覽次數(shù):18 內(nèi)容簡介本書討論了薄膜材料制備技術(shù)中常用的真空技術(shù)、各種物理化學(xué)氣相沉積技術(shù)、薄膜材料的微觀結(jié)構(gòu)的形成以及薄膜材料的厚度、微觀結(jié)構(gòu)和成分的表征方法。