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公司基本資料信息
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分類: | 其它 |
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3、技術(shù)參數(shù)
ES-375A
序號(hào)參數(shù)名稱參數(shù)
1外觀無色透明液體
2氣味無
3密度(g/ml)1.20±0.05
4Ph值12-14
5清洗溫度50-60℃
6凈洗率(2A:B)99.5
ES-375B
序號(hào)參數(shù)名稱參數(shù)
1外觀無色透明液體
2氣味無
3密度(g/ml)1.03±0.05
4Ph值1-2
5清洗溫度50-60℃
6凈洗率(2A:B)99.5
4、適用范圍
本產(chǎn)品只適合單晶硅、多晶硅等油污、懸浮液、氧化層等清洗,不適合單晶硅片制絨.
5、使用方法
1) 建議每 100 公斤工作液中添加 3-6公斤濃縮液ES-375(A:B=2:1),對(duì)難清洗或油污比較重的硅片時(shí)可以適當(dāng)根據(jù)情況在中間添加清洗劑,為了保證清洗效果,建議每班更換。
2)一般每公斤硅片清洗劑可以處理125#單晶硅片2500片以上,添加時(shí)可以根據(jù)該比例
計(jì)算,當(dāng)遇到磨光碾磨膏硅片及回收懸浮液切割的硅片時(shí)應(yīng)適當(dāng)增加藥劑量,當(dāng)然在保
證硅片成品率的情況下也可適當(dāng)減少添加量。
3)為了保障清洗液的潔凈度,建議使用去離子水配置工作液.
4)硅片在清洗過程中盡可能減少裸露在空氣中的時(shí)間,以防止產(chǎn)生花片。
5)建議按如下清洗工藝進(jìn)行清洗
硅片 第一槽 純水/檸檬酸(乳酸)預(yù)洗
第二槽 純水
第三槽 ES-375
第四槽 ES-375
第五槽 純水(后面一般3-4槽純水漂洗)
6、注意事項(xiàng)
1)線切后的晶棒不可以沾水,如不能及時(shí)清洗,最好先存放在懸浮液或清洗劑中(全
部浸沒)。
2)線切后的晶棒一旦上架清洗,必須馬上處理。而且在整個(gè)清洗過程中不可讓硅片自
然干燥。
3)脫膠時(shí)必須保持硅片潤(rùn)濕,亦不可自然干燥。
4)每個(gè)清洗周期完成后(如班次的更替),徹底更換五、六、七、八槽的清水槽。
5)為保證硅片清洗的潔凈度,在脫膠前的噴淋沖洗時(shí)間最好控制在30分鐘以上。
6)工作使用時(shí),應(yīng)每當(dāng)4小時(shí)檢測(cè)一次,但堿度下降或清洗不干凈時(shí)并及時(shí)添加本劑,以保證工作液的效果。
觸。
7.包裝:
25kg塑桶
8保質(zhì)期
2年