Zeta光學(xué)顯微鏡三維成像及測(cè)量系統(tǒng) 樣本本色三維成像 臺(tái)階高度，線、面粗糙度，角度和尺寸測(cè)量 高粗糙度、低反射率樣品的測(cè)量 深槽和其它高縱橫比面形貌特征的成像 薄膜厚度測(cè)量和DIC功能選項(xiàng) 多功能、操作簡(jiǎn)便的應(yīng)用軟件由位于美國(guó)硅谷的Zeta儀器公司研制，Zeta20是一個(gè)集多種測(cè)量手段于一身的精密光學(xué)儀器。它體積小，功能強(qiáng)，使用方便，是解決用戶三維成像和測(cè)量問(wèn)題的有效工具。與市場(chǎng)上售價(jià)昂貴的同類產(chǎn)品相比，ZETA20獨(dú)特的三維成像技術(shù)能夠更準(zhǔn)確，更快速地對(duì)LED/PSS、太陽(yáng)能電池、微流體導(dǎo)管等樣品表面進(jìn)行成像分析。非接觸式測(cè)量加上零維護(hù)成本使得Zeta20成為三維測(cè)量系統(tǒng)中性能價(jià)格比最優(yōu)的解決方案。 應(yīng)用實(shí)例1.LED/PSS（圖形化藍(lán)寶石基板） 高度、尺寸和間距的自動(dòng)測(cè)量；蝕刻前后的基板表面測(cè)量2.太陽(yáng)能電池 AR薄膜厚度監(jiān)控；HDR成像使得同時(shí)測(cè)量高反射率的柵線與極低反射率的氮化硅成為可能3.生物科技/微流體 大視場(chǎng)三維成像；高縱橫比深槽和其它復(fù)雜表面形貌特征的精確測(cè)量4.精密研磨 鉆石拋光墊等極粗糙表面的成像和測(cè)量典型系統(tǒng)配置顯微鏡系統(tǒng)光源：高亮度白光LED物鏡：5x，10x，20x，50x，100x耦合鏡：0.5x手動(dòng)載物臺(tái)：100mmx100mmXY驅(qū)動(dòng)范圍Z軸：30mm縱向驅(qū)動(dòng)范圍數(shù)碼相機(jī)：1024x768像素，1/3英寸CCD計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)CPU：英特爾 酷睿2雙核處理器內(nèi)存：3GB硬盤：320GB顯示器：22英寸寬屏LCD（1680x1050像素）