1. X最大行程1200mm，Y最大行程1000mm，Z最大行程500mm，各軸重復(fù)定位精度0.02mm，三維垂直度3’。

2. XY軸速度要求2~10mm/s，Z軸速度要求2~5mm/s。

3. 3軸都是用光柵尺檢測位置，全閉環(huán)控制，Z軸有自鎖要求。

4. 各軸有兩個機械限位控制范圍，一個光尺零點，中間加兩個軟限位可隨意設(shè)置位置。

二、 工作過程

以測量四極磁鐵磁場為例，四極磁鐵的磁場區(qū)域為圓柱體形場。第一步找正，設(shè)定測磁原點(O點)，需要用探頭找正圓柱體形場的中點，找正后設(shè)定該點為圓柱體場的測磁原點(O點);第二步編程，在測磁原點建立磁場坐標(biāo)系(笛卡爾坐標(biāo)系Oxyz)，在磁場坐標(biāo)系中設(shè)定一組點(P1～P16)作為測磁點，編程使測磁探頭順序到達(dá)P1至P16點，到達(dá)每一點后需停留一定時間(比如5秒鐘)，然后讀出磁場測量值，再移動至下一點。第三步測量，按照編好的程序運行，使探頭到達(dá)每一個測量點，并測得磁場數(shù)據(jù)，然后生成測磁數(shù)據(jù)文件(.txt或其它格式)。測磁數(shù)據(jù)文件中要有每個點的坐標(biāo)值，及該點對應(yīng)的磁場值。

VIBRO METER VM600 MPC4

西門子 6EW1810-3AA

西門子 6DS1144-8AA

TRIConEX 4329

KUKA VKCP2

HIRSCHMANN M-AIR2

TRIConEX 4119A

ABB CI830

MAGNETEK MG2-1F-3FE

AB 1785-L80E

GE SR489 489-P5-HI-A20

SAT FAS-1000MC

Wavelength Electronics LFI-3751

AB 1361-NO61-2-5

COMIZOA COMI-SD414

COMIZOA COMI-LX508

EPRO MMS6312

B+W BWU1703

MEZ K10A6-00

WOODHEAD SST-DN4-104-2

WOODHEAD SST-PB3-PCU-E

PHILIPS ATL L7-4

西門子 CTI 2550-A

力士樂 VT3000-36

Fujitsu FTE8050BP

西門子 6BK1100-0BA01-1AA0

艾默生 KJ3002X1-BF1

AB 1756-CNBR

AB 1756-L71S

AB 1756-M03SE

AB 1756-ENBT

WOODHEAD SST-DN4-102-2

GE IC693CPU364

ABB 07AC91

GE IC697CPU782

AB 1768-L43

AB 1336T-GT1-SP51A

西門子 QLCCM24AAN 16418-41/3

PARKER CPX2500S

西門子 6ES7090-0XX84-0AB0

西門子 6ES7417-4XL04-0AB0

西門子 6ES7416-2XN05-0AB0

AB 2707-L40P2

RELIANCE DSA-MTR-12A2

HMS ABC-PDP-AB7000

西門子 6DD1606-2AC0

QM Soft Mity-Servo VEO-04

WOODWARD 9907-838

WOODWARD 9905-003

西門子 6ES7416-2XK01-0AB0

HonEYWELL TK-PRS021

AB 2711P-K7C4D1

TRIConEX 3805E

VEXTA UPH596TG10-A2

安川 218TXB

ICP GDT8114RZ

PROSOFT MVI56-MNET

赫斯曼 OYDE-S DFOC 943 178-101