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電子工業(yè)超純水過濾，大型純水過濾設(shè)備超純水制造歷史進(jìn)程：
第一階段：預(yù)處理過濾器-- 陽床-- 陰床-- 混合床
第二階段：預(yù)處理過濾器-- 反滲透-- 混合床
目前階段：預(yù)處理過濾器-- 反滲透-- EDI（無需酸堿再生）
　　近幾十年以來，混床離子交換技術(shù)（D）一直作為超純水制備的標(biāo)準(zhǔn)工藝。由于其需要周期性的再生且再生過程中消耗大量的化學(xué)藥品（酸堿）和工業(yè)純水，并造成一定的環(huán)境問題，因此需要開發(fā)無酸堿超純水系統(tǒng)。
　　正因?yàn)閭鹘y(tǒng)的離子交換已經(jīng)越來越無法滿足現(xiàn)代工業(yè)和環(huán)保的需求，于是將膜、樹脂和電化學(xué)原理相結(jié)合的EDI技術(shù)成為水處理技術(shù)的一場革命。其離子交換樹脂的的再生使用的是電能，而不再需要酸堿，因而更滿足于當(dāng)今世界的環(huán)保要求。這一新技術(shù)可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的離子交換（DI）裝置，生產(chǎn)出電阻率高達(dá)18.25M .cm的超純水設(shè)備。
　自從1986年EDI膜堆技術(shù)工業(yè)化以來，全世界已安裝了數(shù)萬套EDI系統(tǒng)，尤其在制藥、半導(dǎo)體、電力和表面清洗等工業(yè)中得到了大力的發(fā)展，同時在廢水處理、飲料及微生物等領(lǐng)域也得到廣泛使用。
　EDI設(shè)備是應(yīng)用在反滲透系統(tǒng)之后，取代傳統(tǒng)的混床離子交換技術(shù)（MB-DI）生產(chǎn)穩(wěn)定的超純水。EDI技術(shù)與混合離子交換技術(shù)相比有如下優(yōu)點(diǎn):◆ 具有更高的產(chǎn)水質(zhì)量，最高可達(dá)18.25M *cm超純水標(biāo)準(zhǔn)。
◆ 脫鹽率高，出水質(zhì)更穩(wěn)定，
◆ 水利用率高出，達(dá)95%
◆ 樹脂無需酸堿再生，無污水排放，更環(huán)保。
◆ 運(yùn)行、操作、維護(hù)方便，全程自動化。
◆ 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計、視產(chǎn)水要求可將模塊不斷堆積，以適應(yīng)更大產(chǎn)水量的要求
◆ 流量范圍從1m3/h到450m3/h以上
◆ 運(yùn)行成本低、能耗少，每產(chǎn)水3.8m3/h，耗電1KW　　反滲透超純水設(shè)備典型工藝流程為：
　　1:預(yù)處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點(diǎn)
　　2:預(yù)處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點(diǎn)
　　3:預(yù)處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點(diǎn)
　　水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（18M *cm，15M *cm，2M *cm和0.5M *cm四級）EDI超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
超純水經(jīng)常用于微電子工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)、發(fā)電工業(yè)、制藥行業(yè)和實(shí)驗(yàn)室。