一、應用領域
1.拋光:用于制備CMP拋光液,用于硅單晶片、砷化鎵片、藍寶石晶片、半導體化合物晶片、硬盤盤片、寶石、液晶玻璃、鏡頭、金屬表面等產(chǎn)品的拋光。
2.催化劑載體、數(shù)碼印刷等。
二、性能指標
指標名稱
型號及標準
LS30
LS60
LS80
LS100
LS140
粒徑(nm)
20-40
60-80
80-100
100-120
140-160
SiO2含量(重量)
30-40%
30-50%
Na2O含量(重量)
≤0.4%
分散介質
水
pH值
2-11可調(diào)
分散狀態(tài)
單分散
膠粒形態(tài)
球型
保質期(月)
≥12
三、產(chǎn)品特點
1.粒徑分布窄(±10nm),球形膠粒,結構致密。
2.純度高,金屬離子含量低。
3.可根據(jù)用戶要求設定粒徑大小、濃度、PH值、離子含量等指標。
四、用于拋光的使用方法
建議用去離子水將濃度稀釋至10-20%,也可根據(jù)實際工藝要求改變配比。若要調(diào)節(jié)pH值,可用10% HCI,10%NaOH,10%KOH或10%的氨水在充分攪拌下慢慢滴入。
五、包裝及儲存
1.采用聚乙烯塑料桶包裝,主要包裝規(guī)格有25Kg、250Kg。
2.貯存時應避免曝曬,貯存溫度為0-40℃。低于0℃則產(chǎn)生凍膠失效。
3.避免敞口長期與空氣接觸。
注:我公司可以免費提供樣品試用。