粗糙度輪廓儀MarSurf-LD130-LD260

粗糙度和輪廓度二合一

高效的測量和定位極大的縮短了測量時間

創(chuàng)新性的測頭系統(tǒng)解決方案

測臂的實時識別帶來更快和更可靠的測臂更換

基于標準化設(shè)計的友好界面，不需要完全的拆分機器即可實現(xiàn)儀器的保養(yǎng)

日益增加的各種測量任務(wù)需要要求了對粗糙度和輪廓度的同時測量。為了滿足這一需求，測量單元必須實現(xiàn)高級別的計量性能。亞納米級的分辨率，小于20nm的RZ殘余誤差僅是需求中的兩項。