數(shù)字質(zhì)量調(diào)節(jié)器 CMQ 特點500ms高速控制0.98~294kPa不同低壓下操作在標準模式下可提供不同的功能　指示，積分算法，模擬輸出，報警輸出可變氣體類型，可變控制范圍 規(guī)格書控制范圍0到200cc/min~0到500L/min（氮氣）　　　　0到500cc/min~0到1,000L/min（氫氣）精確度+/-1.0%FS重復能力+/-0.5%FS適用氣體　　空氣，氮氣，氬氣，氧氣，二氧化碳城市煤氣，甲烷，丙烷，丁烷，乙炔氫氣，氦氣，氨氣，乙烯，氧化乙烯 質(zhì)量流量計 CMS 特點大范圍容量，高精確度不同產(chǎn)品在標準模式下可提供不同功能指示，積分算法，模擬輸出，報警輸出可變氣體類型，RS-232通信流量范圍0到500cc/min~0到1,500L/min（氮氣）　　　　0到10L/min~0到2,000L/min（氫氣）精確度+/-3.0%RD重復能力+/-1.0%FS適用氣體空氣，氮氣，氬氣，氧氣，二氧化碳城市煤氣，甲烷，丙烷，丁烷,氣，氦氣