技術參數(shù)質量數(shù)測量范圍:1-100AMU/1-200AMU樣品壓力范圍:10exp-4Torr至高真空最小可檢分壓：5exp-12Torr;如使用電子倍增器,最小可檢分壓降至5exp-14Torr分辨率:0.5AMU(10%峰高)燈絲發(fā)射電流:0.1-10mA;除氣時50mA電子能量:30-150V,除氣時200V離子能量:1-10V靈敏度:2exp-4A/Torr(法拉第筒);測量條件是氮氣的分子離子峰,0.5AMU峰寬(10%峰高),1mA發(fā)射電流穩(wěn)定性:質量數(shù) 0.1AMU(30分鐘預熱)峰高 2%(30分鐘預熱)主要特點性能出色,價格很有競爭力,非常適用于半導體和薄膜沉積過程中的檢漏和殘余氣體分析軟件支持多種數(shù)據(jù)顯示方式四極桿參數(shù)可自動優(yōu)化內置譜圖,幫助確認組分儀器介紹LC系列有出色的性能價格比,非常適用于過程壓力低于10exp-4Torr的檢漏和殘余氣體分析;使用開放式離子源,質量數(shù)測量范圍1-100AMU或1-200AMU,數(shù)據(jù)有多種顯示模式:質譜圖,棒狀圖(省略分辨率信息),趨勢圖(信號隨時間的變化),檢漏模式,列表模式,指針模式等;用戶可對上述顯示方式進行任意組合并保存,方便使用;軟件還自動生成日志文件,記錄燈絲狀態(tài),報警事件等,儀器開/關,方便管理