干式螺桿真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵腔內(nèi)完全無(wú)水無(wú)油，由于是直通氣路設(shè)計(jì)，KDP和SDV泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。由于泵腔內(nèi)沒有金屬與金屬間的接觸，磨損也就大大減少了。KINNEY®KDP和SDV干式螺桿泵都是水冷系統(tǒng)，風(fēng)冷系統(tǒng)供選擇。 KDP泵是等螺距設(shè)計(jì)，可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr(1.3mbar a),極限真空可達(dá)0.05Torr(0.06mbar a).SDV泵是等螺距設(shè)計(jì)，提高了效率，降低了排出氣體溫度。SDV泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr(1.3mbar a),而其極限真空可達(dá)0.01Torr(0.013mbar a)。整套工程系統(tǒng)解決方案包括儀器儀表、控制裝置、管路和閥門，自身冷卻液循環(huán)系統(tǒng)。