項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)生長方式CZ導(dǎo)電類型P摻雜劑硼晶向〈100〉 1.0 邊長156 0.5mm直徑200 0.5mm厚度200 20 m形狀準(zhǔn)方形電阻率1-3 .cm少子壽命 10 s氧含量 1 1018atoms/cm3碳含量 5 1016atoms/cm3翹曲度 75 m總厚度差異 40 m位錯(cuò)密度 1000個(gè)/cm3線痕深度 10 m崩邊寬度 0.4mm，延伸 0.8mm，每片總數(shù)量 2個(gè)，間隔 30mm表面質(zhì)量表面清潔；無裂紋，明顯刀痕，凹坑，缺口，孔洞