*有效的反應(yīng)氣體處理裝置,延長換泵油時間,延長泵使用壽命,降低使用成本. *人性化的機器外形設(shè)計,采用角摸屏人機對話方式, 配合獨特的軟件設(shè)計,到時候便于操作,維護,保養(yǎng). *配置進口壓力傳感器(薄膜規(guī)),采用獨特的安裝方式,有效防止粉塵粘附, 提高抗干擾能力,消除零飄,確保真空檢測精準. *特別設(shè)計的片夾固定方式,降低電池片擴散表面被刻蝕而導(dǎo)致效率下降的風(fēng)險. *獨特的電路布局和設(shè)計,確保輝光過程的穩(wěn)定,降低刻蝕不盡的風(fēng)險,保證優(yōu)質(zhì)成品率. *每次300~500片,適應(yīng)125*125,156*156硅片.