品牌: VOSN 型號: TY系列渦輪分子泵 TYFB-3600渦輪分子泵參數(shù)表 高真空法蘭 400 ISO-K 前級管道法蘭 100 ISO-K 抽氣速(L/S) 3600 壓縮比 N2 10 8 H2 5X10 2 極限壓強(Pa)帕 2 10-6 電機轉(zhuǎn)數(shù)(n／min) 12600 振動值 0.15 m 啟動時間(min) 10 停機時間(min) 20 建議采用的前級泵 30-70 L／S 冷卻方式 水冷 水冷冷卻水溫度 25℃ 水冷冷卻水流量(L/min) 1 泵體烘烤溫度 120℃ 安裝方向 垂直 5 泵重量(kg) 100