產(chǎn)品品牌:山東百特
產(chǎn)品型號(hào):LS30.LS50.LS60.LS80.LS100.LS140
含量(%):20-40%
產(chǎn)品等級(jí):工業(yè)級(jí)
大粒徑硅溶膠
一、應(yīng)用領(lǐng)域
1.拋光:用于制備CMP拋光液,用于硅單晶片、砷化鎵片、藍(lán)寶石晶片、半導(dǎo)體化合物晶片、硬盤(pán)盤(pán)片、寶石、液晶玻璃、鏡頭、金屬表面等產(chǎn)品的拋光。
2.催化劑載體、數(shù)碼印刷等。
二、性能指標(biāo)
指標(biāo)名稱
型號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)
LS30
LS60
LS80
LS100
LS140
粒徑(nm)
20-40
60-80
80-100
100-120
140-160
SiO2含量
30-40%
30-50%
Na2O含量
≤0.4%
分散介質(zhì)
水
PH值
2-11可調(diào)
分散狀態(tài)
單分散
膠粒形態(tài)
球形
保質(zhì)期(月)
≥12
三、用于拋光的使用方法
建議用去離子水將濃度稀釋至10-20%,也可根據(jù)實(shí)際工藝要求改變配比,若要調(diào)節(jié)PH值,可以用10%Hcl,10%NaOH,10%KOH或者10%氨水在充分?jǐn)嚢柘侣稳搿?
四、包裝及儲(chǔ)存
1.采用聚乙烯塑料桶包裝,主要包裝規(guī)格有25Kg、250Kg。
2.貯存時(shí)應(yīng)避免曝曬,貯存溫度為0-40℃。低于0℃則產(chǎn)生凍膠而失效。
3.避免敞口長(zhǎng)期與空氣接觸。